硅片清洗自動上下料機

硅片清洗自動上下料機
概述
采用TOPSTEK清洗上下料機,配合硅片清洗設備使用,將來料硅片由承載盒或花籃自動裝載到清洗設備中;待清洗完成后,由皮帶輸送機裝載到客戶指定片盒內。 通過使用TOPSTEK清洗上下料機,可代替人工操作,降低人工作業強度及硅片碎片率,減少人為二次污染,提高良率及產能。
  • 硅片清洗自動上下料機

  硅片上下料機

  傳統人工上料會造成硅片污染及破片,影響產品良率,浪費設備產能。
  采用TOPSTEK清洗上下料機,配合硅片清洗設備使用,將來料硅片由承載盒或花籃自動裝載到清洗設備中;待清洗完成后,由皮帶輸送機裝載到客戶指定片盒內。
  通過使用TOPSTEK清洗上下料機,可代替人工操作,降低人工作業強度及硅片碎片率,減少人為二次污染,提高良率及產能。
  TOPSTEK清洗上下料機,可集成MVC隱裂、水跡、雙片、破片檢測模塊,提升產品良率,為客戶節省大量資源,有效降低成本。

  產品規格:


設備尺寸 堆疊8道設備 1.5mx2.9mx2m
  片盒8道設備2.1mx2.9mx2m
  堆疊5道設備1.5mx2.4mx2m
 
片盒5道設備 2.1mx2.5mx2m
適用Wafer尺寸 125x125mm/156x156mm(±0.5mm)
設備產能 4300pics/h(可定制)  
破片率 <0.03% (硅片自身缺陷除外)  
 

  產品特性:
 
  不間斷堆疊上料,保證產能提升
  可選上料隱裂、雙片檢測模塊
  可選下料水跡、破片檢測模塊
  專利吹氣機構,有效降低疊片及破片率
  便捷式配置頁面,可自由設置各個參數
  運動部件安全防護,保障人身安全
  優化的結構設計,占地空間小

  操作界面: 


    硅片上下料操作界面

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